基于非晶鈦酸鋇鐵電薄膜的白光LED器件的研究.pdf

1、鐵電薄膜是一種具有鐵電性且厚度為數(shù)十納米到數(shù)微米的薄膜材料，它具有良好的鐵電性、壓電性、熱釋電性、電光及非線性光學(xué)特性等，可廣泛應(yīng)用于微電子學(xué)、光電子學(xué)、集成光學(xué)和微電子機(jī)械系統(tǒng)等領(lǐng)域，一直是高新技術(shù)研究的前沿和熱點(diǎn)之一。
　　 選取鈦酸鋇為研究對(duì)象，以分析純的乙酸鋇和鈦酸正四丁酯為原材料，冰乙酸為溶劑，乙酰丙酮為穩(wěn)定劑，采用溶膠-凝膠法在硅襯底上制備了鈦酸鋇鐵電薄膜。
　　 研究了鈦酸鋇鐵電薄膜的結(jié)晶狀況、表面形貌和光

2、致發(fā)光性能。試驗(yàn)結(jié)果表明，600℃8小時(shí)退火的鈦酸鋇薄膜呈現(xiàn)結(jié)晶態(tài)，而400℃以下退火處理的樣品薄膜仍為非晶態(tài)；薄膜表面呈島狀結(jié)構(gòu)，光滑致密、無明顯的裂痕和孔洞等缺陷。薄膜PL 譜顯示室溫下非晶態(tài)的鈦酸鋇鐵電薄膜在藍(lán)光激發(fā)下具有很強(qiáng)的光致發(fā)光現(xiàn)象，其中經(jīng)8小時(shí)400℃退火處理的樣品薄膜的光致發(fā)光性能最佳，在540～660nm內(nèi)發(fā)出強(qiáng)烈的黃光，峰值波長為580～610nm，峰寬約30nm。晶態(tài)的鈦酸鋇鐵電薄膜無任何發(fā)光現(xiàn)象。