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1、隨著航空航天、國(guó)防高尖端技術(shù)以及民用高技術(shù)產(chǎn)品的迅速發(fā)展,超精密機(jī)床已經(jīng)成為必不可少的裝備。超精密機(jī)床的研發(fā)也成為現(xiàn)代高精尖技術(shù)產(chǎn)品制造的核心關(guān)鍵技術(shù)之一。本文基于所設(shè)計(jì)的用于液晶導(dǎo)光板滾筒模具表面精加工的超精密機(jī)床,從機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、液體靜壓導(dǎo)軌的靜態(tài)特性研究和機(jī)床力學(xué)性能研究等三個(gè)方面對(duì)所設(shè)計(jì)的超精密機(jī)床進(jìn)行研究。因此,本文的主要研究?jī)?nèi)容包括:
超精密機(jī)床的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。根據(jù)所需加工工件的尺寸范圍,制定機(jī)床的總體設(shè)計(jì)方案,確
2、定各零部件間的布置方式;進(jìn)而確定整機(jī)與各零部件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)目標(biāo)和功能部件的類(lèi)型(如主軸、導(dǎo)軌、驅(qū)動(dòng)裝置、反饋裝置的類(lèi)型)以及相應(yīng)型號(hào)的選擇;并通過(guò)液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)計(jì)算確定 X和Z軸液體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形狀和尺寸,完成液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì);最終完成整機(jī)及其零部件的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
液體靜壓導(dǎo)軌的靜態(tài)特性研究。本機(jī)床導(dǎo)軌采用的是液體靜壓導(dǎo)軌,為了確保導(dǎo)軌的承載能力和剛度要求,有必要對(duì)其靜態(tài)特性進(jìn)行研究。因此,通過(guò)推導(dǎo)出液體潤(rùn)滑雷諾方程,
3、并通過(guò)加權(quán)余量法、有限元方法,建立液體靜壓潤(rùn)滑的理論模型。然后借助MATLAB編程求解,獲得液體靜壓導(dǎo)軌的承載能力、剛度等靜態(tài)特性。
超精密機(jī)床的力學(xué)性能研究。運(yùn)用有限元方法,借助有限元軟件 ANSYS對(duì)整機(jī)及其相關(guān)功能部件進(jìn)行靜力學(xué)分析、動(dòng)力學(xué)分析和熱分析,獲得相關(guān)結(jié)構(gòu)的剛度、和變形,模態(tài)振型和固有頻率以及溫度分布等情況。對(duì)獲得的結(jié)果加以分析,為機(jī)床結(jié)構(gòu)的完善提供理論支撐和建議。
綜上所述,通過(guò)從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)入手,再基
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