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1、該文首先研究了目前國(guó)內(nèi)外主要的真空滅弧室真空度測(cè)試方法,將其歸類為離線檢測(cè)方法,現(xiàn)場(chǎng)不拆卸檢測(cè)方法和在線檢測(cè)方法來(lái)論述,并分析了不同方法的測(cè)試原理和特點(diǎn).在此基礎(chǔ)上,該文采用一種新型的傳感器和相應(yīng)的數(shù)據(jù)處理電路,通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量、計(jì)算和分析得出,運(yùn)行中的真空滅弧室,當(dāng)真空度劣化時(shí)將會(huì)導(dǎo)致屏蔽罩直流電位發(fā)生變化.根據(jù)這種對(duì)應(yīng)關(guān)系,通過(guò)在線檢測(cè)屏蔽罩直流電位引起的直流電場(chǎng)值的變化可以有效的檢測(cè)出真空度值的變化.最后,該文給出了基于試驗(yàn)裝置和實(shí)驗(yàn)
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