真空滅弧室真空度的兩種測量方法及其綜合設(shè)計(jì).pdf

1、真空滅弧室的真空度是真空開關(guān)的最重要的技術(shù)指標(biāo)之一。運(yùn)行中的真空開關(guān)，真空度一旦超過允許的最低限值，就可能導(dǎo)致真空開關(guān)不能正常開斷，直接危害著電力系統(tǒng)的安全運(yùn)行。
　　目前的所有測量方法中，脈沖磁控放電法因?yàn)闇y量精度高、有效區(qū)間廣、可重復(fù)性明顯而成為應(yīng)用最多的測量方法。本文首先分析經(jīng)典的脈沖磁控法的優(yōu)缺點(diǎn)，并進(jìn)行改進(jìn)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了橫向磁控法。
　　本文設(shè)計(jì)了一種全新的測量真空滅弧室真空度的方法——內(nèi)置式冷陰極規(guī)管法。首先，在充

2、分了解冷陰極規(guī)管法測量原理的基礎(chǔ)上，分別對(duì)冷陰極規(guī)管的物理結(jié)構(gòu)和各部分材料進(jìn)行設(shè)計(jì)；然后利用有限元軟件對(duì)所做設(shè)計(jì)進(jìn)行電磁場的仿真驗(yàn)證，包括傳感器的內(nèi)部三維靜磁場的仿真，以及對(duì)安裝冷陰極規(guī)管前后真空滅弧室內(nèi)部的靜電場分布情況的對(duì)比，分析結(jié)果驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的科學(xué)性、可行性。
　　研究發(fā)現(xiàn)，在同一個(gè)坐標(biāo)系下，以放電電流為橫軸，以真空度為縱軸，不同真空滅弧室的校準(zhǔn)曲線的形狀大致相同，即可以把“通用校準(zhǔn)曲線”沿橫軸平移得到專用的校準(zhǔn)曲線。而出廠