有機(jī)聚合物光波導(dǎo)光刻工藝.pdf

1、近年來,光通信技術(shù)的迅速發(fā)展,帶動(dòng)了光波導(dǎo)器件的研究和發(fā)展。有機(jī)聚合物光波導(dǎo)材料具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),例如較高的電光耦合系數(shù),較低的介電常數(shù),響應(yīng)時(shí)間短,加工工藝簡單經(jīng)濟(jì),可以用來制作大容量,高速度,抗電磁干擾的光波導(dǎo)開關(guān)。在有機(jī)聚合物光波導(dǎo)制作中,首先需要制備性能優(yōu)異的薄膜,然后再通過光刻、刻蝕等工藝將薄膜制作成特定光波導(dǎo)的形狀。為了很好的滿足器件設(shè)計(jì)指標(biāo),光波導(dǎo)的寬度要求比較嚴(yán)格,而光刻工藝是影響波導(dǎo)寬度的重要因素。光刻尺寸的精度將直

2、接影響聚合物光波導(dǎo)的尺寸精度,因此,關(guān)于光刻精度的研究越來越受到研究單位的關(guān)注。本文著重介紹了聚合物光波導(dǎo)制作中的關(guān)鍵技術(shù)：聚合物薄膜的制備以及其后續(xù)光刻工藝的優(yōu)化,主要內(nèi)容如下： 1 對(duì)比F-PI和PMMA等作為原材料所制備的聚合物薄膜,選擇合適的原材料。通過旋涂法制備了用于波導(dǎo)制作的高性能聚合物薄膜,討論了部分工藝參數(shù),如溶液濃度、旋涂轉(zhuǎn)速以及溫度等對(duì)薄膜質(zhì)量的影響。分析了可能造成薄膜缺陷的原因,并對(duì)薄膜的性能如薄膜厚度、折