聚合物陣列波導光柵的設計與工藝實驗.pdf

1、波分復用技術是隨著通信系統(tǒng)和網(wǎng)絡對帶寬和容量的迅猛增長而出現(xiàn)的。近些年來，為滿足波分復用系統(tǒng)的要求，發(fā)展了很多高性能的光子器件。基于陣列波導光柵(AWG)的各種光子器件代表了實現(xiàn)波分復用系統(tǒng)的關鍵實用技術之一。采用有機聚合物材料進行光電子與集成光學器件的研究，材料價廉，工藝過程簡單，這使得器件成本大幅度降低。本文主要是研究聚合物AWG 的設計技術及對其結構優(yōu)化設計，并研究聚合物AWG 器件的制造工藝。 論文介紹了AWG 器件的工

2、作原理、特性和系統(tǒng)對它的要求。總結了為提高這些方面的性能，從設計、工藝等方面進行的各項改進措施。對器件進行了建模，并編制出一套設計AWG 器件各參數(shù)的流程方法和程序，可以設定不同性能要求直接得到AWG 器件的各參數(shù)并直接在光學輔助設計軟件中BPM 模擬，得到所設計的AWG 光譜響應曲線。在此基礎上，根據(jù)本實驗室合成的聚合物材料的折射率，設計出了16 通道AWG 器件各結構參數(shù)，并設計出16×16AWG 的版圖，制作出掩膜版。 平

3、坦光譜響應AWG 在實際應用中有重要價值。本文主要研究了在AWG 器件中輸入波導與輸入平板波導之間加入一個拋物線型過渡器來實現(xiàn)平坦光譜響應的方法。對拋物線型過渡器的結構參數(shù)對AWG 的光譜響應的影響作了討論，并且通過分析和設計，可以得到低色散的平坦光譜響應AWG。 聚合物平面波導光器件制作工藝的摸索研究是實現(xiàn)器件產(chǎn)業(yè)化的重要工作。本文在國內(nèi)首次利用自行合成的氟化聚酰亞胺材料，利用旋涂-濺射-光刻-ICP 刻蝕等工藝方法制備聚合物