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1、該文研究了兩種與微加工工藝相結(jié)合的微傳感器陣列——用于液態(tài)成分分析的離子圖象微傳感器陣列和用于檢測(cè)細(xì)胞生理活動(dòng)的場(chǎng)效應(yīng)管細(xì)胞傳感器.為了實(shí)現(xiàn)微傳感器的自動(dòng)進(jìn)樣,我們?cè)O(shè)計(jì)了一種微泵,將進(jìn)樣系統(tǒng)和反應(yīng)腔體相結(jié)合,采用有限元分析軟件ANSYS對(duì)微傳感器的動(dòng)力學(xué)特性進(jìn)行進(jìn)行了靜力場(chǎng)、動(dòng)力場(chǎng)和流體場(chǎng)的綜合分析,模擬了這些微結(jié)構(gòu)器件的工作狀況,優(yōu)化了該傳感器的設(shè)計(jì).該文采用傳統(tǒng)IC工藝方法設(shè)計(jì)并制備了場(chǎng)效應(yīng)管陣列,用化學(xué)方法(涂附多聚鳥氨酸和層粘素
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