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文檔簡介
1、根據(jù)先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司的生產(chǎn)實際,該文主要研究了熱載流子注入柵氧中對器件性能的影響以及用熱脫附譜研究摻磷氧化硅吸收水分這兩個問題.1）在熱載流子分析與模擬中,通過建立一個熱載流子注入柵氧中的模型來深入研究熱載流子對柵氧影響的主要機(jī)理,并且用這個模型來模擬在熱載流子注入情況下器件的內(nèi)部電場、襯度電流、閾值電壓的跨導(dǎo)隨時間的變化,并對實際MOSFET作了I-V特性曲線的跨導(dǎo)變化量隨偏壓時間的實驗測試.2）熱脫附譜（TDS）研究H<,2>
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