2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、隨著微細(xì)加工、微光學(xué)、微機(jī)械和微電子等技術(shù)的不斷發(fā)展,越來(lái)越多的微器件需要進(jìn)行精密三維測(cè)量.因此對(duì)微觀輪廓形貌進(jìn)行快速準(zhǔn)確的檢測(cè),已成為現(xiàn)代精密測(cè)試技術(shù)與儀器研究的重要課題.共焦測(cè)量方法由于具有高精度、高分辨率及易于實(shí)現(xiàn)三維成像數(shù)字化的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)而在微觀輪廓檢測(cè)中得到廣泛重視.近年來(lái),全場(chǎng)并行共焦檢測(cè)技術(shù)引起各國(guó)專家的普遍關(guān)注.該技術(shù)將單點(diǎn)掃描變?yōu)槎嗦凡⑿刑綔y(cè),同時(shí)對(duì)被測(cè)表面的不同點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè),實(shí)現(xiàn)了全場(chǎng)同步測(cè)量.該論文工作是在國(guó)家自然科學(xué)

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