基于Micro-EDM微型模具原位制造及表面拋光工藝研究.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)的迅速發(fā)展,作為微型零件中十分重要的一類,微孔類零件廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療、航空航天、印染紡織及微電子等各個領(lǐng)域。微沖孔技術(shù)利用塑性變形成形微孔類零件,具有成形質(zhì)量好、加工效率高和成本低的優(yōu)點。然而隨著微孔直徑越來越小,微型模具的定位精度和同軸度難以保證,沖裁間隙的不均勻性導(dǎo)致微沖孔加工已經(jīng)很難達(dá)到精度和質(zhì)量的要求。本文在現(xiàn)有微沖壓設(shè)備上，設(shè)計了一臺基于微細(xì)電火花微型模具原位制造的微沖壓系統(tǒng),可以利用微細(xì)電火花原位加工微型模

2、具并進(jìn)行微沖孔加工,解決了微沖孔過程中微型模具同軸度及沖裁間隙均勻性的關(guān)鍵技術(shù),實現(xiàn)了微孔類零件的高質(zhì)量、高精度制造。
　　基于微細(xì)電火花加工工藝,提出并確定了電火花主軸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)方案,根據(jù)微沖孔工藝,設(shè)計了具有精密導(dǎo)向、彈性壓邊的模具結(jié)構(gòu),對關(guān)鍵部件進(jìn)行了理論計算和強(qiáng)度校核,利用Ansys Workbench進(jìn)行有限元仿真,利用Solidworks2010進(jìn)行了總體三維設(shè)計,并確定了原位制造的工藝流程。
　　根據(jù)微細(xì)電火花

3、加工原理,通過微細(xì)電火花微沖頭及凹?？准庸ぴ囼?研究了放電參數(shù)對加工速度及電極損耗的影響規(guī)律。結(jié)果表明,各放電參數(shù)對微細(xì)電火花加工的影響是綜合性的,不能側(cè)重某一個工藝指標(biāo),本文通過協(xié)調(diào)考慮各工藝指標(biāo),確定了最佳的工藝參數(shù),利用微細(xì)電火花原位加工出尺寸精度高、同軸度好的微型模具。
　　由于電火花加工的工件表面存在變化層,對微沖頭的性能有不利影響。采用電化學(xué)-等離子復(fù)合拋光工藝對硬質(zhì)合金材質(zhì)的微沖頭的表面變化層進(jìn)行去除及拋光,研究不同