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1、 本文初步建立擴(kuò)散/收縮流道結(jié)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型，討論了結(jié)構(gòu)參數(shù)的選取原則及相應(yīng)的流動(dòng)阻尼系數(shù)的計(jì)算方法。通過(guò)ANSYS/FLOTRAN CFD模塊對(duì)擴(kuò)散/收縮流道進(jìn)行有限元分析，得出流道內(nèi)流體的速度和壓力分布情況，以及結(jié)構(gòu)參數(shù)變化對(duì)流道內(nèi)流體流動(dòng)情況的影響曲線(xiàn)；建立了壓電驅(qū)動(dòng)微泵膜片的有限元分析模型，采用直接耦合法模擬分析了微泵膜片在壓電層驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生的形變和速度變化，得出了膜片厚度、形狀和壓電驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)微泵膜片形變的影響曲線(xiàn)，并對(duì)壓電驅(qū)
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