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文檔簡介
1、該論文從納米科技的基本概念出發(fā),概要地介紹了納米科技的學科分類及其發(fā)展歷程.納米測控技術是納米測量學的一部分,該文詳細介紹了幾種典型的納米級測控系統(tǒng)的基本構成及其運行機制,在此基礎上重點討論了大功率高剛度納米微致動測控系統(tǒng)的組成、原理及其環(huán)境保障系統(tǒng).大功率高剛度納米微致動器的研制成功填補了國內(nèi)外在此領域的空白,在納米技術的其它領域有著廣泛的應用前景.環(huán)境保障一直是測控領域中急待解決的問題,在高精度的納米測控中環(huán)境保障更成為影響測控結果
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