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文檔簡介
1、微細加工是微機電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems,MEMS)和微小型器件從設計構想成為現(xiàn)實的核心技術.微成形作為微細加工技術群體中的一項技術,正在發(fā)揮著越來越重要的作用.與傳統(tǒng)的宏觀塑性加工不同,微細塑性成形不但加工對象尺寸小,要求精度高,而且在加工過程中材料所表現(xiàn)出來的性質與宏觀加工相比也有許多不同之處,尺度效應將會發(fā)生.研究表明:零件微型化導致了尺寸效應,使傳統(tǒng)的塑性加工工藝不能直接應用于微成形,尺
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