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1、該文結(jié)合國家自然基金重大項(xiàng)目“敏感陶瓷薄膜制備方法、結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系”課題內(nèi)容,首次采用可溶性無機(jī)鹽為原料,以液相的溶膠-凝膠工藝和氣相微波等離子體化學(xué)氣相沉積工藝,制備出了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>系鐵電陶瓷薄膜,并對制膜過程機(jī)理、影響因素、性能特性等進(jìn)行了系統(tǒng)研究.該文首先選用可溶性無機(jī)鹽原料替代傳統(tǒng)的金屬有機(jī)物鹽類作SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>薄膜的前驅(qū)體.該文接著對采用溶膠-凝膠工藝制備的SrBi<,2>Ta
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