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文檔簡介
1、本文在對碳化硅復合材料晶片性能和缺陷分析的基礎上,首先采用兩階段退火方法對晶片進行了退火改性處理,對比了晶片退火前后性能的變化,從中找到了合理的退火工藝參數(shù)。同時,還發(fā)現(xiàn)長時間的低溫退火非但不能提高晶片的紅外透過率,反而由于Te沉淀相及其所含雜質的溶解使晶片的紅外透過率下降。 采用掃描電鏡對退火后的CdZnTe單晶進行了分析。退火后CdZnTe晶片經(jīng)過腐蝕后表面出現(xiàn)了形貌各異的大尺寸富Te相,這些富Te相是基體中的富Te成分在退
2、火過程中通過熱遷移向表面聚集而形成的。熱遷移的量隨升溫速率的升高而增加。 用透射電子顯微鏡觀察和研究了CdZnTe單晶的缺陷。在晶片的透射電鏡照片中觀察到與晶片表面平行的棱柱位錯環(huán)和有幾何形狀的Te沉淀相,Te沉淀相與棱柱位錯這兩種缺陷是相互依存的。 首次采用了X射線衍射法測定了單晶材料CdZnTe的應力,利用多元線性回歸模型分析確定了無應力狀態(tài)下的布拉格衍射角θ0,從而計算出CdZnTe的應力。計算結果為,生長態(tài)CdZ
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