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1、聲表面波(SAW)器件是一類具有廣泛市場(chǎng)前景的電子器件,它的優(yōu)勢(shì)有頻率選擇性好、體積小、可靠性高、可大面積生產(chǎn)等。目前的聲表面波器件多采用傳統(tǒng)微電子光刻技術(shù)制備,雖然基于光刻技術(shù)制備的聲表面波器件精度高,但生產(chǎn)過(guò)程工藝復(fù)雜、成本較高、且會(huì)產(chǎn)生廢氣廢液。印刷電子是近幾年興起的將傳統(tǒng)印刷產(chǎn)業(yè)技術(shù)應(yīng)用到電子器件制各中的一門(mén)工藝。本論文進(jìn)行了將印刷電子工藝中的絲網(wǎng)印刷技術(shù)應(yīng)用于聲表面波濾波器的制備的實(shí)驗(yàn)研究,應(yīng)用此方法將極大地簡(jiǎn)化制造工藝、降低
2、生產(chǎn)成本,同時(shí)綠色環(huán)保,具有較高的理論意義和市場(chǎng)應(yīng)用前景。
本文主要研究?jī)?nèi)容如下:
本論文針對(duì)傳統(tǒng)制備聲表面波器件的傳統(tǒng)方法中存在的問(wèn)題,在深入了解了聲表面波和印刷電子的相關(guān)原理的基礎(chǔ)上,提出了應(yīng)用印刷電子工藝中的絲網(wǎng)印刷技術(shù)來(lái)制備聲表面波器件的設(shè)想,并利用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了此方法的可行性。本實(shí)驗(yàn)中,不僅基于現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)室印刷設(shè)備條件設(shè)計(jì)并制作了聲表面波濾波器,還結(jié)合理論分析對(duì)所設(shè)計(jì)的濾波器的性能進(jìn)行了仿真,然后通過(guò)實(shí)施絲網(wǎng)印刷
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