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文檔簡介
1、該文主要研究的方向是MQCM的設計優(yōu)化,主要工作集中在MQCM的諧振元振動耦合問題研究.具體作了以下幾項工作.(1)首先對當今世界范圍內在MQCM這一領域的研究及應用狀況進行了全面的介紹.(2)繼而在MQCM的諧振元振動耦合數值計算方面,利用有限元方法,對MQCM的振動耦合進行了計算.(3)在MQCM的實驗研究方面,簡單描述了在MQCM元件加工過程中用到的各種工藝,介紹了作者自行設計加工的MQCM元件.對這套元件進行了初步的實驗研究,觀
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