等離子體基離子注入混合(Ti,Al)N-DLC膜結(jié)構(gòu)與性能.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩69頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、 本文用等離子體基離子注入混合技術(shù)在M50基體上成功的沉積了不同成分的(Ti,Al)N/DLC膜。系統(tǒng)研究了(Ti,Al)N和(Ti,Al)N/DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)、腐蝕及摩擦學性能。研究結(jié)果表明，(Ti,Al)N膜表面的粗糙度與基體相比均有增加，隨著Al含量的增加粗糙度呈非單調(diào)性變化。(Ti,Al)N膜以非晶結(jié)構(gòu)為主，納米級(Ti,Al)N顆粒彌散分布在非晶組織中。(Ti,Al)N/DLC復合膜的硬度高于(Ti,Al)N膜，約是

2、基體硬度的2倍。在大氣環(huán)境中(Ti,Al)N膜對淬火回火GCr15鋼球的摩擦系數(shù)明顯低于基體，約為0.4～0.6左右，而在相同條件下(Ti,Al)N/DLC復合膜的摩擦系數(shù)在0.1左右。與基體材料相比，(Ti,Al)N膜的耐磨性提高了5.5-2.5倍，(Ti,Al)N/DLC復合膜的耐磨性提高了26倍。(Ti,Al)N膜的耐蝕性普遍高出基體，且腐蝕機理為點蝕，按Ti：Al=1：1預沉積機制原位注入混合形成的(Ti,Al)N膜其耐腐蝕性能

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論