MEMS工藝驗證系統(tǒng).pdf

1、針對MEMS設計與加工脫節(jié)的問題，本文對MEMS工藝驗證進行了研究，旨在使MEMS設計者在在進行工藝仿真以及MEMS器件加工之前，先對版圖和工序進行可加工性驗證，如果版圖或工序是不可加工的，就沒有必要再進行MEMS器件工藝仿真或投入流水線加工了，從而降低了MEMS器件的加工成本，提高了MEMS器件的設計效率。MEMS工藝驗證包括MEMS工序驗證和MEMS版圖驗證兩部分。
　　 在MEMS工序驗證方面，本文提出了基于MEMS加工狀

2、態(tài)的工序驗證方法，并將該方法與專家系統(tǒng)技術相結合設計實現(xiàn)了基于狀態(tài)機的MEMS工序可加工性驗證系統(tǒng)。該系統(tǒng)首先根據(jù)特定的工藝流水線得到工藝過程的專家知識；然后根據(jù)MEMS工序流程和專家知識利用狀態(tài)機把工序可加工性驗證所需的關鍵狀態(tài)，包括溫度、當前MEMS器件的材料組成結構等進行重現(xiàn)，從而生成工序?qū)臓顟B(tài)矩陣；最后由上一步得到的MEMS狀態(tài)矩陣和專家知識進行推理得到該工序可加工性判定結果。
　　 在MEMS版圖驗證方面，本文采用

3、基于布爾運算的版圖驗證方法設計實現(xiàn)了基于開源項目LayoutEditor的MEMS版圖驗證系統(tǒng)。該系統(tǒng)將標準版圖和DRC規(guī)則文件作為輸入，利用LayoutEditor的圖形運算模塊進行版圖驗證，得到版圖可加工性判定結果，顯示DRC錯誤信息，并通過圖形標識出版圖錯誤。MEMS版圖驗證系統(tǒng)實現(xiàn)了常見的設計規(guī)則，如最小寬度、最小間隔、最小延伸、以及最小重疊等，還實現(xiàn)了一些MEMS版圖中特有的規(guī)則，如最大兩端固定梁長度，最大懸臂梁長度(單端固定