納秒脈沖微細(xì)電化學(xué)加工的工藝研究.pdf

1、電化學(xué)加工（Electrochemical machining，ECM）利用金屬在電解液中發(fā)生陽極溶解的原理，將工件材料以離子的形式去除掉。這種加工方式使其在微細(xì)加工領(lǐng)域有著很大的發(fā)展?jié)撃?，而且具有加工表面質(zhì)量好、工具無損耗、無接觸應(yīng)力、與零件材料硬度無關(guān)等優(yōu)點。成為航空航天、兵器制造等國防工業(yè)生產(chǎn)中的關(guān)鍵技術(shù)之一。本論文對微細(xì)電解加工中一些關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究，如微細(xì)電解加工的機(jī)理、微細(xì)工具電極的制備、高頻微能脈沖能量電源的研制、微細(xì)電

2、解加工過實驗等工作。 本文應(yīng)用電化學(xué)加工雙電層的模型，利用電極暫態(tài)過程研究納秒脈沖微細(xì)電化學(xué)加工機(jī)理。根據(jù)法拉第定律和電化學(xué)極化的Butler-Volmer方程，描述了納秒脈沖微細(xì)電解加工的等效回路模型。 根據(jù)對微細(xì)電解加工等效回路模型的研究，設(shè)計了納秒級微能脈沖電源。以CPLD、MOSFET 等為主要芯片設(shè)計了脈沖控制電路、光耦隔離和MOSFET 驅(qū)動電路、波形調(diào)節(jié)單元、脈沖電壓調(diào)節(jié)單元等，獲得了符合加工要求的輸出脈沖