GJ-4型共焦測頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計與研究.pdf

1、本文中所介紹的GJ-4型共焦測頭是光學非接觸測頭的一種，其測量原理為激光掃描共焦顯微檢測法原理，運用了動態(tài)主動調(diào)焦的方法，通過使用時間差法處理信號將位移量的測量轉(zhuǎn)化為對時間差的測量。
　　 與前幾代共焦測頭相比，GJ-4型測頭增加了一級匯聚光路，利用非球面物鏡，將測量光斑大幅減小，使之能夠更好的完成對微小物體的測量；GJ-4型測頭的光電接收器件使用高響應(yīng)度的雪崩光電二極管，能夠?qū)σ恍┤醴瓷浔砻娅@取到較好的測量信號；GJ-4型測頭

2、的結(jié)構(gòu)結(jié)實穩(wěn)定，并設(shè)計有多處調(diào)節(jié)機構(gòu)，使其能夠滿足光路原理的要求；另外，GJ-4的測量范圍和可測角度比前代測頭均有所擴大。
　　 本論文完成了GJ-4型共焦測頭的設(shè)計和調(diào)試，將其向產(chǎn)品化方向推進，主要的工作內(nèi)容如下：
　　 1.簡要介紹了動態(tài)主動調(diào)焦測量原理和時間差法測量原理；
　　 2.對光路進行了理論推導(dǎo)并根據(jù)推導(dǎo)結(jié)果改進了測頭光路；
　　 3.設(shè)計了新的測頭結(jié)構(gòu)方案，根據(jù)測頭新方案，對機械結(jié)構(gòu)進行了