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文檔簡介
1、光電顯微鏡是應(yīng)用于微小結(jié)構(gòu)觀察和非接觸測量的高精度瞄準(zhǔn)儀器,本課題設(shè)計(jì)了一套應(yīng)用于比長儀的光電顯微鏡系統(tǒng),可以對玻璃或金屬線紋刻尺進(jìn)行高精度瞄準(zhǔn)測量。
在分析比長儀國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,闡述了比長儀和光電顯微鏡的工作原理,提出了應(yīng)用于比長儀的光電顯微鏡總體設(shè)計(jì)方案。著重設(shè)計(jì)光電顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng),根據(jù)使用要求計(jì)算出光電顯微鏡的設(shè)計(jì)參數(shù),運(yùn)用ZEMAX軟件分別設(shè)計(jì)光電顯微鏡的物鏡系統(tǒng)、觀察系統(tǒng)和照明系統(tǒng),并對設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行公差分析
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