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1、ClassifiedIndex:2250UDO:150SouthwestUniversityOfScienceAndTechnoIogyMasterDegreeThesiSl毛‘6‘6《DevelopmentoftemperingmagnetronsputterlngLowgg/8SST●’1Grade:2007Canddate:GaoChun—senAcademiCDegreeAppIiedfor:MasterSpeciaIty:An
2、ayticaIthemistrySupervsor:ProfDENGYue—quanMar132010西南科技大學(xué)碩士研究生學(xué)位論文第l頁摘要在現(xiàn)代建筑中,追求大面積采光的玻璃設(shè)計成為潮流,然而普通玻璃門窗能耗占整個建筑能耗的40%以上,這與建筑設(shè)計的節(jié)能性取向產(chǎn)生矛盾。因此提高玻璃的節(jié)能性能,已經(jīng)成為如何真正實(shí)現(xiàn)建筑節(jié)能的關(guān)鍵所在。而近幾年低輻射鍍膜的光學(xué)性能、結(jié)構(gòu)、可鋼化性更是逐漸成為新的研究熱點(diǎn)。本文使用Code軟件設(shè)計并采用磁控
3、濺射法成功制備了三種可鋼化LowE玻璃,膜系結(jié)構(gòu)分別為:Si3N4CrN。AgNiCrN。Si3N4、Si3N4一SnONiCrO。AgZnOXNiCr0XSnO$i3N4、Si3N4SnO—NiCrO。AgZnO。NiCrO。一TiO,Si,N4,同時分析LowE玻璃的微觀結(jié)構(gòu)、光熱學(xué)性能、耐磨性以及耐熱處理性能等。采用AFM分析納米Ag層的微觀結(jié)構(gòu)并從微觀結(jié)構(gòu)解釋阻擋層Cr、NiCr對銀膜的保護(hù)作用機(jī)理,而且觀察到整個膜層光滑平整,
4、XPS探測到膜層表面物質(zhì)與設(shè)計表層一致;光、熱學(xué)性能分析表明,可鋼化LowE玻璃能大量反射紅外線,2500nm反射率高達(dá)80%,降低了紫外線的透過率,允許大量的可見光透過,具有良好的光選擇性和節(jié)能性能,并且改用Si3N4作為內(nèi)外保護(hù)層后,增加了復(fù)合涂層的硬度和附著力,而且不影響整個膜層光選擇性;經(jīng)過700。C高溫?zé)崽幚矸治鲲@示,本文成功設(shè)計并制備出三種符合GBl576322005、GB/T1891522002的要求,具有可鋼化性的Low
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