多柵極結(jié)構(gòu)場(chǎng)發(fā)射平板顯示器件的電子光學(xué)特性模擬與分析.pdf

1、場(chǎng)發(fā)射平板顯示(Field Emission Display，F(xiàn)ED)是在研的新型平板顯示技術(shù)。新型器件結(jié)構(gòu)的研究，是FED技術(shù)研究的重點(diǎn)內(nèi)容。本論文針對(duì)多柵結(jié)構(gòu)形式的FED器件，基于電子光學(xué)透鏡理論，利用有限元分析技術(shù)，將器件結(jié)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)模式結(jié)合，模擬與分析三柵驅(qū)動(dòng)FED器件的電子光學(xué)特性。具體地，在探討FED工作原理基礎(chǔ)上，介紹了在雙柵結(jié)構(gòu)FED器件中引入第三柵極以降低控制柵極工作電壓的方案以及三柵極結(jié)構(gòu)FED器件發(fā)光單元的結(jié)構(gòu)組成。

2、為了獲得三柵極結(jié)構(gòu)FED的電子光學(xué)特性及其驅(qū)動(dòng)特性，引入了有限元分析方法，借助COMSOL MULTIPHYSICS分析軟件對(duì)三柵極結(jié)構(gòu)FED器件進(jìn)行了模擬。通過(guò)改變柵極結(jié)構(gòu)參數(shù)，對(duì)電極工作電壓、電子發(fā)射和電子透過(guò)率、電子在陽(yáng)極上形成的光斑進(jìn)行計(jì)算和分析，獲得柵極結(jié)構(gòu)與器件電子光學(xué)特性，并確定出了三柵極結(jié)構(gòu)FED器件的發(fā)光單元結(jié)構(gòu)參數(shù)和工作電壓最優(yōu)化方案：透射孔半徑r=150μm；中央柵極厚度d=50μm；陰柵高度h=5μm；中央柵極電