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1、該文提出一種基于尺蠖運(yùn)動(dòng)(Inchworm motion)原理的大范圍納米級(jí)驅(qū)動(dòng)壓電馬達(dá).馬達(dá)由兩個(gè)夾緊器和兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器組成,在一定的激勵(lì)信號(hào)下,通過(guò)夾緊器交替抱緊和放松傳動(dòng)軸,驅(qū)動(dòng)器推拉夾緊器,從而產(chǎn)生軸向大行程直線運(yùn)動(dòng).論文系統(tǒng)地介紹了壓電理論及材料特性;對(duì)固有的誤差因素,如蠕變、非線性、遲滯等特性作了研究分析;著重闡述了壓電馬達(dá)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、控制系統(tǒng)的硬件和軟件設(shè)計(jì)、性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)等方面的內(nèi)容.結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面,變傳統(tǒng)單驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)為雙驅(qū)
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