2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、本文以激光-感應復合加熱法制備的納米ZnO粉末為基礎,通過采用降低燒結溫度、使用新的燒結熱源(激光燒結)研究不同的工藝參數對元件氣敏性能的影響,以及使用以不同摻雜ZnO為元件組成的傳感器陣列對VOCs氣體進行分類識別.通過激光-感應復合加熱法制備的納米ZnO顆粒.顆粒形貌具有針狀特征.對比針狀ZnO,具有多種形態(tài)的ZnO以及市售顆粒ZnO的氣敏特性,發(fā)現針狀ZnO表現出最好的氣敏特性,其次是多種形態(tài)的納米ZnO,市售的ZnO敏感度最低.

2、敏感性能與原始粉末的形態(tài)、大小、團聚程度以及燒結而成的厚膜的顯微結構密切相關.對納米ZnO粉末進行了低溫燒結和采用激光作為燒結熱源進行了燒結.在200℃-550℃低溫燒結范圍內,隨燒結溫度提高,納米ZnO晶粒尺寸增大,敏感度下降,300℃時有最高的敏感度.其電阻隨燒結溫度升高而增大.以激光為熱源燒結純ZnO厚膜中.當激光功率為60W和70W時,隨掃描時間延長晶粒長大,厚膜致密化,其敏感度逐步下降.相同掃描時間下,70W激光燒結厚膜的敏感

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