FBAR及其振蕩器的研究.pdf

1、隨著無(wú)線通信的發(fā)展,通信系統(tǒng)朝著小型化、集成化和低功率的方向發(fā)展。作為一種性能優(yōu)良的射頻濾波器件,薄膜體聲波諧振器(FBAR)擁有著體積小、高品質(zhì)因數(shù)、高工作頻率、高功率容量及與半導(dǎo)體工藝兼容等優(yōu)點(diǎn),相比于傳統(tǒng)的SAW等器件在性能上有了極大的提高,因而成為國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。
　　 本論文對(duì)FBAR器件本身和FBAR應(yīng)用兩方面進(jìn)行了研究,具體包括了FBAR工藝流程和制備、FBAR模型和本征Q值計(jì)算方法、FBAR可調(diào)濾波器和溫度補(bǔ)償

2、的研究、FBAR振蕩器等四個(gè)方面,主要的研究?jī)?nèi)容和成果如下:
　　 1、在FBAR典型工藝流程的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)并繪制了FBAR版圖,進(jìn)行了第一次流片,同時(shí)對(duì)第一次流片中出現(xiàn)的問(wèn)題進(jìn)行了總結(jié),改進(jìn)了FBAR結(jié)構(gòu),并進(jìn)行了第二次流片,測(cè)試結(jié)果顯示FBAR性能有了提高；結(jié)果表明:FBAR工作頻率為1.2GHz～1.91GHz之間,Q值最高能達(dá)到1350。
　　 2、分析了FBAR的若干典型模型,在本課題組提出的PMBVD模型基礎(chǔ)

3、上,創(chuàng)造性得提出了一種消除寄生參數(shù)影響的計(jì)算本征Q值的方法,該方法提高了FBAR電路設(shè)計(jì)時(shí)的仿真精確度。
　　 3、提出了一種FBAR可調(diào)濾波器的技術(shù)方案,設(shè)計(jì)了一種FBAR可調(diào)濾波器的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),并對(duì)其進(jìn)行了仿真驗(yàn)證；同時(shí)提出了一種利用惠斯頓電橋和可變電容管對(duì)FBAR進(jìn)行溫度補(bǔ)償?shù)姆椒?以及一種實(shí)現(xiàn)大功率容量的新型FBAR結(jié)構(gòu)。
　　 4、在SMIC0.18um工藝下設(shè)計(jì)了一款基于科爾皮茲結(jié)構(gòu)的FBAR振蕩器芯片,振蕩器