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文檔簡介
1、 本文以2003年哈工大研制出定子直徑2mm的金屬柱狀彎曲旋轉(zhuǎn)超聲波馬達為基礎(chǔ)，又進一步研制出定子直徑為1mm的馬達。首先，根據(jù)振動理論及物理運動學定律，建立了彎曲旋轉(zhuǎn)超聲波馬達定子和轉(zhuǎn)子間力傳遞的剛體模型，推導出馬達的動力學特性方程，用ANSYS有限元分析軟件對馬達定子的各種結(jié)構(gòu)建立了有限元模型，進行了模態(tài)分析，制作了兩臺定子直徑φ1 mm馬達樣機，并通過實驗對其進行了調(diào)試，找出其最佳激勵頻率，測試了其中一個微馬達樣機的幾種輸出
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