基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、將環(huán)境中的振動(dòng)能轉(zhuǎn)換為電能的MEMS微型振動(dòng)發(fā)電機(jī)是近年來(lái)國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。本論文在國(guó)家自然科學(xué)基金資助下，針對(duì)微型振動(dòng)發(fā)電機(jī)抗沖擊能力差、易疲勞等問(wèn)題，開(kāi)展基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)研究，具有重要的科學(xué)意義和應(yīng)用價(jià)值。
　　 論文在分析微型振動(dòng)發(fā)電機(jī)研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì)的基礎(chǔ)上，提出基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)新結(jié)構(gòu)，分析該微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的工作原理，建立相應(yīng)的理論模型并進(jìn)行模擬仿真；研制出基于微

2、液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)宏尺寸原理樣機(jī)；開(kāi)展該微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的MEMS加工工藝的初步探索研究。論文主要研究?jī)?nèi)容：
　　 ①研究分析了微型振動(dòng)發(fā)電機(jī)的研究現(xiàn)狀與趨勢(shì)，提出了基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)新結(jié)構(gòu)，分析了該結(jié)構(gòu)靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的工作原理，建立了相應(yīng)的理論模型；
　　 ②采用COMSOL Multiphysics軟件對(duì)基于微液滴介質(zhì)的微型靜電式振動(dòng)發(fā)電機(jī)的Teflon駐極體電場(chǎng)分布和微液滴在微腔