連續(xù)蝕刻再生溶液中鎳含量的軟測量.pdf

1、平板蔭罩上小槽孔的加工精度要求非常高，蝕刻成形過程是較復(fù)雜的非線性動(dòng)態(tài)過程，其影響因素較多、關(guān)系也較復(fù)雜，給過程監(jiān)測和控制帶來很大的困難。尤其是溶液中的鎳含量的測量及處理，是大屏幕平板蔭罩生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)。傳統(tǒng)的化學(xué)定量分析方法，采取定期更換蝕刻溶液的方法無疑會(huì)造成極大的浪費(fèi)。而化學(xué)定量分析的方法測定周期較長，不利于產(chǎn)品的質(zhì)量控制。因此，迫切需要一種實(shí)用、簡便、周期短和成本低的測量方法。 軟測量就是選擇與被估計(jì)變量相關(guān)的一組可測變

2、量，構(gòu)造某種以可測變量為輸入、被估計(jì)變量為輸出的數(shù)學(xué)模型，用計(jì)算機(jī)軟件實(shí)現(xiàn)重要過程變量的估計(jì)。因此軟測量技術(shù)作為一種新型的過程參數(shù)檢測技術(shù)，為解決復(fù)雜過程參數(shù)的檢測問題提供了一條有效途徑。近年來，軟測量技術(shù)的發(fā)展相當(dāng)迅速，已在過程控制領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。軟測量技術(shù)的核心是表征輔助變量和主導(dǎo)變量之間的數(shù)學(xué)關(guān)系的軟測量模型的建模問題。 統(tǒng)計(jì)學(xué)習(xí)理論是當(dāng)前機(jī)器學(xué)習(xí)領(lǐng)域一個(gè)研究熱點(diǎn)，它為有限樣本學(xué)習(xí)問題提供了一個(gè)統(tǒng)一的框架。建立在該理

3、論基礎(chǔ)上的支持向量機(jī)，以其優(yōu)異的小樣本學(xué)習(xí)能力、較強(qiáng)的抗干擾能力和較好的模型推廣能力引起了工程技術(shù)界的關(guān)注，在最近幾年得到了不斷的發(fā)展和應(yīng)用。 本文討論了統(tǒng)計(jì)學(xué)習(xí)理論和結(jié)構(gòu)風(fēng)險(xiǎn)最小化的基本概念，結(jié)合數(shù)據(jù)分類問題具體闡述了支持向量機(jī)的基本理論和基本思想。同時(shí)討論了回歸估計(jì)的一些概念和基于支持向量機(jī)的線性回歸估計(jì)方法。在此基礎(chǔ)上討論了基于支持向量機(jī)的非線性回歸方法，同時(shí)介紹了回歸問題中懲罰函數(shù)的選擇和常見的一些懲罰函數(shù)以及一些建模的