MEMS設計軟件架構和模塊集成.pdf

1、SoFTWAREARCHITECTUREoFMEMSCADANDTHEINTEGRATIoNoFMoDULESADissertationSubmittedtoSoutheastUniversityFortheAcademicDegreeofMasterofEngineeringBYMIHuiguangSupervisedbyProfessorLIWeihua，DoctorZhouZaifaSchoolofElectronicScienc

2、eandEngineeringSoutheastUniversityMay，2010摘要摘要隨著MEMS技術的迅速發(fā)展，MEMS器件的應用領域不斷擴大，這就對MEMSCAD軟件的性能提出了更高的要求。一方面，MEMS器件的多樣化要求MEMSCAD系統具有更多的設計功能，設計工具日益龐大化；另一方面，不同MEMS器件的功能、原理、形式各異，要求MEMS設計工具能夠提供多樣化的設計流程。本論文提出了一種新的MEMSCAD軟件架構，采用模塊化

3、的軟件設計思想，把MEMS設計過程劃分為一些不同的設計功能，對每種功能分別用獨立的模塊來實現；采用框架管理系統來實現對各個模塊的管理，框架管理系統通過調用相關的軟件模塊來完成MEMS設計過程：將設計中產生的中間數據從程序中獨立出來，現實數據庫管理，模塊之間的數據傳遞均通過數據庫來實現。這樣的架構有利于實現多樣化的MEMS設計流程，同時也便于軟件功能的擴展和升級。圍繞著這一主要工作，本論文在實驗室原有工作的基礎上，首先對MEMSCAD軟件

4、系統做了功能劃分，將軟件原有的設計功能劃分為版圖解析、三維結構生成、節(jié)點單元劃分和初始網表生成等獨立的功能，并分別建立軟件模塊實現了各部分功能的獨立運行。開發(fā)了軟件的框架管理系統，在框架中實現了各個功能模塊的調用接口，軟件框架通過對不同模塊的調用來實現靈活的設計流程，完成MEMS的設計。框架中還實現了對第三方軟件的動態(tài)加載功能，便于軟件功能的擴展在軟件對數據的管理上，采用數據與功能模塊相分離的方法，將MEMS設計中產生的各種中間數據從程