碳納米管互連串?dāng)_特性研究.pdf

1、隨著超大規(guī)模集成電路的特征尺寸的不斷縮小,當(dāng)前的工藝技術(shù)進(jìn)入納米(＜100 nm)階段,微電子技術(shù)已經(jīng)進(jìn)入了納米集成電路時(shí)代。在之前的深亞微米工藝階段,互連線問題已經(jīng)引起人們的廣泛關(guān)注,成為集成電路設(shè)計(jì)的關(guān)鍵問題之一。在納米級電路中,互連線將產(chǎn)生更為嚴(yán)重的問題,比如金屬電阻率的增加,熱穩(wěn)定性下降,可靠性問題日益突出等。為此,互連線新工藝、新結(jié)構(gòu)和新材料的研究逐漸成為熱點(diǎn),也越發(fā)重要。碳納米管作為碳的第四種形態(tài),于1992年被發(fā)現(xiàn),其具有

2、特殊的電學(xué)、熱學(xué)和機(jī)械性能,所以在短短的十幾年時(shí)間中,就受到了全球研究人員的高度重視。其中碳納米管具有的電阻率低和電流密度大的特點(diǎn),使它有可能成為優(yōu)良的互連線材料。本文通過電磁學(xué)和量子電子學(xué)的方法,對單壁碳納米管和雙壁碳碳納米管的等效參數(shù)進(jìn)行提取,并得出了單壁碳納米管束互連線和雙壁碳納米管束互連線考慮線間串?dāng)_的等效電路模型。然后以延時(shí)和抖動(dòng)性能為主要指標(biāo),對單壁碳納米管束互連線、雙壁碳納米管束互連線和銅互連線進(jìn)行對比研究。為使研究更接近