980nm內(nèi)腔接觸式VCSEL輸出特性的研究.pdf_第1頁
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1、分類號:TN2484UDC:密級:980nto內(nèi)腔接觸式VCSEL輸出特性的研究RESEARCHONOUTPUTCHARACTERISTICSOF980NMINTRACAVITYCONTACTEDVCSEL學(xué)位授予單位及代碼:籃壹堡王太堂!!Q!璺堂學(xué)科專業(yè)名稱及代碼:迸堂王猩(Q墨Q蘭QQ)論文起止時間:2Q!!!!螳Q12=12摘要本文從減少器件生熱的角度出發(fā),設(shè)計并制作了一種980nm內(nèi)腔接觸式VCSEL。采用器件模擬軟件PICS

2、3D分別模擬了傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)和內(nèi)腔接觸式結(jié)構(gòu)器件相同外延生長情況下的輸出特性。經(jīng)模擬與計算得到,內(nèi)腔接觸式VCSEL的微分電阻為20Q、閾值電流為623mA,比傳統(tǒng)VCSEL分別降低了約333Q和29%。經(jīng)實驗測得,內(nèi)腔接觸式VCSEL的微分電阻為23Q、閾值電流為875mA,比傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)器件的微分電阻降低了32Q、閾值電流降低了34%,實驗測試結(jié)果與模擬結(jié)果基本吻合;同時測得內(nèi)腔接觸式VCSEL的最大輸出功率為118mW,比傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)器件的最大

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