納米SrTiO-,3-電容-電壓敏特性優(yōu)化及雙功能器件研究.pdf

1、采用正交設(shè)計(jì)的思想,根據(jù)溶膠-凝膠法制備納米SrTiO<,3>粉體材料的工藝,選定水-鈦比、水-冰醋酸比、和凝膠溫度三個(gè)因素進(jìn)行實(shí)驗(yàn),并分析實(shí)驗(yàn)結(jié)果.結(jié)果表明在優(yōu)化了的工藝條件下制備的納米SrTiO<,3>粉體材料的粒徑可達(dá)到27nm左右.此外,還研究了煅燒溫度對(duì)SrTiO<,3>粉體性能的影響.從理論上分析了SrTiO<,3>的摻雜機(jī)理和一次燒成工藝的可能性.利用均勻設(shè)計(jì)和正交設(shè)計(jì)的思想研究了施主雜質(zhì)(Nb、La)、受主雜質(zhì)(Li、M

2、n)、添加劑(SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>)、還原燒成溫度和氧化處理時(shí)間對(duì)器件性能的影響規(guī)律.利用統(tǒng)計(jì)分析軟件SPSS對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行綜合分析.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,當(dāng)SiO<,2>-TiO<,2>-Al<,2>O<,3>分別取2％、2%、0.5%時(shí)可以在陶瓷中形成豐富的液相,促進(jìn)陶瓷的半導(dǎo)化.在1450℃左右的還原性氣氛下進(jìn)行半導(dǎo)化處理即可得到壓敏電壓低于10V的雙功能陶瓷器件.在1100℃下氧化處理10分鐘即可使半導(dǎo)