面向精密主動(dòng)減振的洛侖茲電機(jī)及其驅(qū)動(dòng)器研究.pdf

1、洛侖茲電機(jī)是一種以洛侖茲力直接驅(qū)動(dòng)的永磁直流作動(dòng)器,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、線性性好等特點(diǎn),被廣泛地用作精密直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置,如光刻機(jī)微運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、精密主動(dòng)減振器的作動(dòng)器等。洛侖茲電機(jī)通過(guò)驅(qū)動(dòng)電流控制電機(jī)阻尼力的大小和方向。論文針對(duì)一種用于 IC制造裝備的超精密主動(dòng)減振器,設(shè)計(jì)了用于主動(dòng)減振器的洛侖茲電機(jī)及其驅(qū)動(dòng)器。
　　首先,本文簡(jiǎn)要闡述了洛侖茲電機(jī)的工作原理和特點(diǎn),計(jì)算出了電機(jī)的推力常數(shù)、電感和電阻等參數(shù)。在參數(shù)

2、計(jì)算的基礎(chǔ)上,自行設(shè)計(jì)了一套推力常數(shù)為68N/A的洛侖茲電機(jī)
　　其次,詳細(xì)介紹了洛侖茲電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的硬件設(shè)計(jì),包括電流調(diào)節(jié)器電路、橋式功率轉(zhuǎn)換電路、電流反饋電路、保護(hù)電路和補(bǔ)償電路的設(shè)計(jì),繪制了驅(qū)動(dòng)器的印制電路板,建立了驅(qū)動(dòng)器的數(shù)學(xué)模型。研制出了驅(qū)動(dòng)帶寬至少為3kHz,電流控制精度達(dá)0.1mA,電流紋波小于1mA的高性能洛侖茲電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
　　最后,設(shè)計(jì)出了洛侖茲電機(jī)測(cè)試平臺(tái),分別對(duì)電機(jī)的動(dòng)態(tài)性能和靜態(tài)性能進(jìn)行了測(cè)試。從振動(dòng)