電容式角位移傳感器的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、角位移傳感器用于測(cè)量固定部件（定子）與轉(zhuǎn)動(dòng)部件（轉(zhuǎn)子）之間的旋轉(zhuǎn)角度,可根據(jù)電場(chǎng)、磁場(chǎng)及光學(xué)等原理進(jìn)行測(cè)量.其中,電容式角位移傳感器以其非接觸測(cè)量、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低能耗、測(cè)量精確等優(yōu)點(diǎn)獨(dú)樹(shù)一幟.該課題設(shè)計(jì)了一種電容式角位移傳感器.作者運(yùn)用有限元法對(duì)不同形狀和參數(shù)的電容傳感器進(jìn)行了仿真實(shí)驗(yàn),并得到了選擇優(yōu)化結(jié)構(gòu)參數(shù)的原則,其中首次對(duì)三極板結(jié)構(gòu)電容傳感器電場(chǎng)進(jìn)行了三維有限元仿真分析.該文同時(shí)給出了一種基于充放電原理的小電容測(cè)量電路,它從原理上克

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