面向精密測量的自校準技術(shù)研究.pdf

1、隨著各領(lǐng)域?qū)軠y量技術(shù)的要求越來越高,精密定位技術(shù)的發(fā)展也得到了越來越多的關(guān)注。精密定位技術(shù)的提高對校準用標準器提出了越來越嚴格的要求,但用于精密甚至超精密工作臺的定位校準需要的標準器成本太過昂貴,或者在現(xiàn)有的技術(shù)條件下無法制造。針對這種現(xiàn)狀,誤差分離技術(shù)已受到廣泛的關(guān)注。自校準技術(shù)是誤差分離技術(shù)的一種,本文對其進行了系統(tǒng)研究,基本思路為通過數(shù)學算法將測量結(jié)果中包含的系統(tǒng)誤差分離出來,從而改善工作臺定位精度和測量效果,主要包括理論模型

2、的建立、軟件仿真分析、實驗驗證及應(yīng)用探索。
　　首先,針對測量結(jié)果中的誤差來源,建立了一維自校準技術(shù)的數(shù)學模型,并利用最小二乘法對數(shù)學模型中的方程組進行求解,得到最佳估計值。為了驗證模型的正確性,進行了仿真分析。同時,分別對影像測量儀和二等標準線紋尺進行了一維自校準實驗驗證。
　　其次,在一維自校準模型的基礎(chǔ)上建立了二維自校準技術(shù)的數(shù)學模型,并進行了有、無隨機噪聲兩種情況的仿真分析。利用柵格板對影像測量儀工作臺定位精度進行了