飛秒激光加工SiO2表面粗糙度方法研究.pdf

1、由于飛秒激光具備高精度，低熱影響區(qū)等諸多優(yōu)勢，使得飛秒激光與物質相互作用有著無可比擬的優(yōu)勢，隨著技術的愈發(fā)成熟，傳統(tǒng)的一些微納機械加工技術將逐漸的被激光技術取代。但是飛秒激光技術還存在許多問題，一是飛秒激光與物質相互作用，加工理論模型較復雜，由于飛秒激光與物質相互作用時間極短，宏觀的很多熱傳導理論已不能滿足研究分析。二是如何控制加工形貌，讓其滿足粗糙度要求。本文從理論和數(shù)值模擬對飛秒激光與二氧化硅相互作用進行研究，論文研究內容主要包括:

2、
　　 1.對飛秒激光與物質表面相互作用產生的微結構以及飛秒激光與材料相互作用的類型以及機理進行研究，為建立合理的激光燒蝕理論與數(shù)值模型打下基礎。
　　 2.對飛秒激光燒蝕的雙溫模型進行推導，約化，計算。掌握雙溫方程的理論數(shù)值意義。
　　 3.建立飛秒激光與物質相互作用的數(shù)學模型。利用一維雙溫方程數(shù)值模擬其相互作用的過程。再通過建立二維雙溫方程，近一步研究兩者相互作用的過程，計算溫度，深度以及其他參數(shù)的變化關系。