SnO2半導(dǎo)體傳感器敏感特性分析及其在DGA技術(shù)中應(yīng)用.pdf

1、SnO2半導(dǎo)體傳感器是金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)傳感器類型中一種綜合性能優(yōu)異的氣體傳感器，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、價(jià)格低廉、響應(yīng)速度快、使用壽命長(zhǎng)以及對(duì)易燃易爆氣體和還原性氣體具有較高的靈敏度等優(yōu)點(diǎn)，在火災(zāi)預(yù)防、環(huán)境污染檢測(cè)等方面得到廣泛應(yīng)用。本文從SnO2的物理基本性能及其與表面氣相分子相互作用的工作原理出發(fā)，對(duì)傳感器的敏感特性進(jìn)行研究，在測(cè)試平臺(tái)上就傳感器的靈敏度、選擇性、響應(yīng)與恢復(fù)時(shí)間、溫濕度特性、漂移性進(jìn)行了測(cè)試，從中提出解決選擇性差、漂

2、移等問題的相應(yīng)方案。
　　本文研究了傳感器中Sn的含量以及添加劑的成份對(duì)檢測(cè)靈敏度的影響，選擇了對(duì)變壓器中油中六種特征氣體敏感度高的傳感器;通過對(duì)色譜技術(shù)與傳感器的優(yōu)化組合、應(yīng)用色譜柱對(duì)混合氣體進(jìn)行組份的分離，解決了傳感器的選擇性問題，在滿足現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)性要求的同時(shí)保證了良好的特征氣體分離度、實(shí)現(xiàn)一個(gè)檢測(cè)器可對(duì)多種特征氣體進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè);對(duì)傳感器由于敏感特性隨環(huán)境因素漂移的現(xiàn)象而導(dǎo)致測(cè)量誤差大、適應(yīng)性差的問題進(jìn)行了研究。根據(jù)傳感器電導(dǎo)