固結(jié)磨料研磨拋光K9光學(xué)玻璃研究.pdf

1、隨著光學(xué)、光電子學(xué)和數(shù)碼產(chǎn)品的蓬勃發(fā)展，K9光學(xué)玻璃已在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，對其表面質(zhì)量提出了嚴格的要求,并要求較高的加工效率。由于K9玻璃屬于硬脆材料，在加工過程中極易發(fā)生脆性破壞，傳統(tǒng)加工技術(shù)難以獲得超光滑高質(zhì)量的表面。近年來，固結(jié)磨料化學(xué)機械拋光技術(shù)以其工藝可控性強、加工效率高、加工成本低以及綠色環(huán)保等一系列優(yōu)點受到越來越多的關(guān)注。本文圍繞典型光學(xué)材料K9玻璃的研磨和拋光過程，探索工藝參數(shù)對材料加工性能的影響，以達到提高產(chǎn)品

2、加工效率和表面質(zhì)量的目的，同時也為推進固結(jié)磨料研磨拋光技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的進程打下基礎(chǔ)。論文的研究工作包括以下幾個部分：
　　 1.介紹了固結(jié)磨料研磨拋光墊的制備過程、試驗裝置及檢測指標。進一步完善了拋光墊的制備工藝，并從工件的裝夾與卸片、實驗設(shè)備和加工性能指標檢測三個方面對K9光學(xué)玻璃研磨拋光過程進行了研究。
　　 2.研究研磨工藝參數(shù)對材料的去除率和表面質(zhì)量的影響。通過合理的選擇主軸轉(zhuǎn)速、研磨壓力、偏心距和磨粒粒度工藝參數(shù)，

3、并進行正交試驗參數(shù)優(yōu)化，系統(tǒng)分析了各參數(shù)對研磨效果的影響，得到了影響因素的主次關(guān)系，為研磨工藝的合理選擇提供依據(jù)。
　　 3.開展了固結(jié)磨料拋光墊拋光K9玻璃的工藝研究。分別研究了不同磨粒種類固結(jié)磨料拋光墊的拋光過程，并分析了主要工藝參數(shù)對材料去除率及三維表面粗糙度的影響規(guī)律。獲得了固結(jié)磨料拋光墊的最佳拋光參數(shù)組合，為該工藝的拓展應(yīng)用開展了積極探索。
　　 4.通過差動蝕刻速率法測量K9光學(xué)玻璃亞表面損傷層深度，比較相同