Si基LED外延層中C、H、O污染的SIMS研究.pdf

1、本文研究了一些方法來改善樣品吸附空氣對二次離子質譜儀(SIMS)定量分析C、H、O的影響以及研究了SIMS同時分析元素數(shù)量的多少對SIMS定量分析C、H、O元素的影響，進而達到提高SIMS定量分析C、H、O的準確性的目的;并利用SIMS研究了MOCVD的生長條件（NH3流量大小）對GaN材料以及AlN材料中C、H、O污染的影響，此外，本文還利用SIMS研究了本實驗的Si襯底上緩沖層(AlN、AlGa)中C、H、O元素分布的均勻性，為本實

2、驗室MOCVD生長外延提供可靠的參考依據(jù)。獲得了以下研究成果:
　　 (1)將樣品置于SIMS樣品倉中抽真空，伴隨抽真空的時間越長，樣品吸附的空氣對SIMS定量分析C、H、O元素的影響越小，直至完全排除該影響（這個過程耗時較久）;通過在SIMS的液氮冷阱中加入液氮來克服樣品吸附空氣對SIMS定量分析C、H、O元素的能力是有限的，但是其可以輔助前者，減少抽真空所需要的時間，提高效率。
　　 (2) SIMS同時測試分析的元

3、素越少的時候，所得到C、H、O元素的SIMS曲線的深度分辨率較高。
　　 (3) GaN材料中含C量（C污染）隨著氨氣流量的增加而不斷減少，成冪函數(shù)關系;GaN材料中含H以及含O雜質在氨氣流量增大的過程中無明顯變化; GaN材料的生長速率伴隨著氨氣流量的增加而變慢。
　　 (4) AlN材料中含C量（C污染）隨著氨氣流量的增加不斷增加，和GaN材料中含C量與氨氣流量的關系完全相反;AlN材料中的含H雜質以及含O雜質也是伴