基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測方法研究.pdf

1、哈特曼-夏克波前傳感器最早應(yīng)用于天文觀測上用來測量光學(xué)系統(tǒng)的像差。目前，哈特曼-夏克波前傳感器在自適應(yīng)光學(xué)、面型檢測和人眼視覺上都有著廣泛的應(yīng)用。哈特曼-夏克傳感器主要由微陣列透鏡和CCD組成，其中光波經(jīng)過待測透鏡，畸變波前入射到哈特曼-夏克傳感器中的微陣列透鏡聚焦在CCD上，測量CCD上的光斑坐標(biāo)，通過Zernike多項式模式法計算出Zernike系數(shù)來重建出波前。
　　 本論文設(shè)計了基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測方案，該系

2、統(tǒng)可檢測光學(xué)系統(tǒng)像差和光學(xué)元件表面三維形貌，同時概述了基于哈特曼-夏克波前傳感器的波前檢測模型，設(shè)計了波前檢測算法，包括圖像預(yù)處理、質(zhì)心探測和Zernike多項式模式法重構(gòu)，并分析了質(zhì)心探測的影響因素，然后搭建了基于哈特曼-夏克傳感器的波前測試系統(tǒng)。其中在測量波前斜率前，利用大律法閾值分割算法（OTSU算法)對光斑圖像進行閾值分割，從而提高光斑質(zhì)心的定位精度。根據(jù)本論文設(shè)計的基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測方案，介紹了波前測量儀的系統(tǒng)組