基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測(cè)方法研究.pdf

1、哈特曼-夏克波前傳感器最早應(yīng)用于天文觀測(cè)上用來測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的像差。目前，哈特曼-夏克波前傳感器在自適應(yīng)光學(xué)、面型檢測(cè)和人眼視覺上都有著廣泛的應(yīng)用。哈特曼-夏克傳感器主要由微陣列透鏡和CCD組成，其中光波經(jīng)過待測(cè)透鏡，畸變波前入射到哈特曼-夏克傳感器中的微陣列透鏡聚焦在CCD上，測(cè)量CCD上的光斑坐標(biāo)，通過Zernike多項(xiàng)式模式法計(jì)算出Zernike系數(shù)來重建出波前。
　　 本論文設(shè)計(jì)了基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測(cè)方案，該系

2、統(tǒng)可檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)像差和光學(xué)元件表面三維形貌，同時(shí)概述了基于哈特曼-夏克波前傳感器的波前檢測(cè)模型，設(shè)計(jì)了波前檢測(cè)算法，包括圖像預(yù)處理、質(zhì)心探測(cè)和Zernike多項(xiàng)式模式法重構(gòu)，并分析了質(zhì)心探測(cè)的影響因素，然后搭建了基于哈特曼-夏克傳感器的波前測(cè)試系統(tǒng)。其中在測(cè)量波前斜率前，利用大律法閾值分割算法（OTSU算法)對(duì)光斑圖像進(jìn)行閾值分割，從而提高光斑質(zhì)心的定位精度。根據(jù)本論文設(shè)計(jì)的基于哈特曼-夏克傳感器的波前檢測(cè)方案，介紹了波前測(cè)量儀的系統(tǒng)組