硅烷均相裂解產(chǎn)物形態(tài)、結(jié)構(gòu)和組成的研究.pdf

1、社會(huì)發(fā)展加重了能源危機(jī)和環(huán)境污染。為此，人們不得不改變對(duì)化石燃料的過(guò)分依賴，轉(zhuǎn)而開發(fā)無(wú)污染、可循環(huán)的新型清潔能源，尤其是以太陽(yáng)能為首的可再生能源。太陽(yáng)能的開發(fā)促進(jìn)了以硅為原料的光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展。
　　流化床法制備多晶硅的技術(shù)具有效率高、能耗低、純度高、產(chǎn)物晶體型態(tài)穩(wěn)定等一系列優(yōu)點(diǎn)，但其難點(diǎn)在于如何避免硅烷（SiH4）均相裂解形成非晶硅細(xì)粉。遺憾的是，這一過(guò)程的反應(yīng)機(jī)理迄今未有統(tǒng)一的定論。為了精準(zhǔn)控制生產(chǎn)條件，有必要充分了解反應(yīng)條

2、件對(duì)硅烷熱分解產(chǎn)物的影響。
　　本文在垂直空管反應(yīng)器內(nèi)，采用硅烷裂解法得到不同反應(yīng)條件下的均相裂解的非晶硅粉末，利用紅外漫反射池、掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡等對(duì)產(chǎn)物進(jìn)行表征分析。研究揭示了反應(yīng)溫度、操作氣量和硅烷濃度對(duì)非晶硅產(chǎn)物微觀形態(tài)、粒度分布、Si-H結(jié)構(gòu)和組成等性質(zhì)的影響；通過(guò)對(duì)不同條件下Si-H結(jié)構(gòu)的分析，進(jìn)一步闡述了硅烷均相裂解的機(jī)理和過(guò)程。
　　結(jié)果表明，反應(yīng)溫度越高、操作氣量越低、硅烷濃度含量越高時(shí)，產(chǎn)物的