脈沖磁控濺射電源關鍵技術的研究.pdf

1、脈沖磁控濺射電源是磁控濺射鍍膜工藝中的核心設備，電源性能的優(yōu)劣直接影響到所鍍膜層質(zhì)量。本文通過前期調(diào)研，得到了當前磁控濺射工藝對電源裝置所需的提高功率密度、解決功率器件發(fā)熱較為集中等幾項關鍵技術仍有待精進，并根據(jù)需求選擇了其中提升功率密度、優(yōu)化散熱設計等進行專項突破。設計了適用于該電源的主電路拓撲結構以及相應的軟開關技術，并對整個電源的散熱系統(tǒng)進行了相應的設計與優(yōu)化。
　　本文首先針對提升功率密度減小開關應力的問題提出采用IPOS

2、（輸入并聯(lián)輸出串聯(lián)）系統(tǒng)集成結構的思路進行了闡述，并成功實現(xiàn)了全橋變換器的軟開關，并對移相全橋及后級斬波電路的各個工作模態(tài)進行了模態(tài)分析。同時，針對脈沖磁控濺射電源其脈沖輸出特性對功率器件所帶來的熱效應進行了研究，采用熱阻等效的方法設計了一整套完整的散熱系統(tǒng)。
　　其次，根據(jù)電源技術指標，計算了主電路各項參數(shù)并對所使用的器件進行了選型，在Pspice10.5仿真環(huán)境下對其原理進行了仿真驗證。通過FLOTHERM軟件進行了系統(tǒng)熱場仿