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1、殘留氣體分析器（residualgasanalysis,RGA）具有很高的化學(xué)選擇性和靈敏度,因此長期應(yīng)用于在半導(dǎo)體制造中以及化學(xué)工藝過程的監(jiān)控和異常情況檢測。隨著制程技術(shù)層次的不斷提高，復(fù)雜度的不斷增加，單片成本提高，那么要維持低成本，高良率及高機臺使用效益，增加本身的競爭優(yōu)勢，殘余氣體分析儀，則是一種行之有效的工具。未來趨勢已逐漸走向12英寸晶圓，當(dāng)晶圓成本不斷提高，這樣因意外或異常現(xiàn)象造成的生產(chǎn)損失也相對地提高。因此RGA作為線上
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