基于壓電驅動及柔性鉸鏈技術的精密回轉系統(tǒng)研究.pdf

1、宏/微驅動技術是隨著科學技術的快速發(fā)展應運而生的。由于該技術能滿足較大的運動范圍和較高的運動精度要求，所以它被廣泛的應用于微電子、航天、軍事等高科技領域。國內外對宏微驅動直線進給技術研究比較多，但是作為主要運動形式之一的回轉運動的宏微回轉進給技術研究卻很少。
　　本文在對國內外相關宏/微技術文獻的研究基礎上，設計了一種可將直線微動轉換為回轉微動的柔性鉸鏈轉換機構，用靜力學和有限元法對柔性鉸鏈轉換機構進行分析，設計了精密回轉系統(tǒng)，通

2、過試驗驗證了系統(tǒng)的精確性。本文的主要內容包括:
　　(1)在研究柔性鉸鏈及壓電陶瓷驅動器工作原理基礎上，設計了一種包含多個柔性鉸鏈的轉換機構，分析了轉換機構的工作原理。
　　(2)用靜力學對柔性鉸鏈轉換機構的變形和受力進行了分析，用有限元軟件對其進行了仿真分析。
　　(3)根據(jù)柔性鉸鏈轉換機構使用條件不同，設計了兩套精密回轉系統(tǒng)，評價了兩套回轉系統(tǒng)的特點。
　　(4)微動回轉系統(tǒng)試驗:分別對壓電陶瓷驅動器的剛度、