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1、本文進(jìn)行了單晶硅工件的超聲振動(dòng)輔助磨削實(shí)驗(yàn)。使用哈工大的平面磨床和多種砂輪對(duì)工件進(jìn)行了磨削。研究了不同磨削參數(shù)對(duì)磨削力、工件表面粗糙度和亞表層損傷的影響。獲得了砂輪速度、進(jìn)給速度、磨削深度和有無超聲振動(dòng)的影響。使用Kisler測(cè)力儀測(cè)量了磨削力的變化。使用Taylor Hodson輪廓儀測(cè)量了表面粗糙度，并用掃描電子顯微鏡（SEM）測(cè)量了工件亞表層損傷。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，磨削參數(shù)的增大會(huì)使磨削力升高。此外，在磨削系統(tǒng)中施加超聲振動(dòng)可以使磨削
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