自旋閥材料和傳感器的特性及應(yīng)用研究.pdf

1、本文研究了自旋閥材料和自旋閥傳感器特性以及在齒輪傳感器方面的應(yīng)用情況。具體研究?jī)?nèi)容包括：對(duì)常規(guī)自旋閥材料和具有SAF結(jié)構(gòu)的自旋閥材料溫度特性進(jìn)行了研究，對(duì)屏蔽結(jié)構(gòu)的自旋閥傳感器進(jìn)行性能表征和溫度特性進(jìn)行了研究，對(duì)自旋閥梯度傳感器的電阻條的性能和溫度特性進(jìn)行了研究，對(duì)不同電阻條間距的自旋閥梯度傳感器輸出特性進(jìn)行了研究，對(duì)自旋閥梯度傳感器在齒輪傳感器方面進(jìn)行了應(yīng)用研究。具體結(jié)論如下：
　　（1）研究了兩種自旋閥材料的溫度特性。對(duì)常規(guī)自

2、旋閥材料和具有 SAF結(jié)構(gòu)的自旋閥材料進(jìn)行退火實(shí)驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)具有SAF結(jié)構(gòu)的自旋閥材料與常規(guī)自旋閥材料相比具有更好的溫度穩(wěn)定性。在退火溫度高于材料的奈爾溫度下，沿自旋閥材料的釘扎方向加5kOe的磁場(chǎng)進(jìn)行退火處理，能使自旋閥材料的磁電阻率增大。
　?。?）研究了溫度對(duì)屏蔽結(jié)構(gòu)的自旋閥傳感器輸出特性的影響。傳感器的靈敏度、非線性度和偏移電壓隨溫度呈線性關(guān)系，傳感器工作的線性范圍會(huì)隨溫度升高而減小。
　?。?）研究了不同電阻條間距對(duì)自