一維納米定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)與分析.pdf

1、納米定位平臺(tái)是納米定位系統(tǒng)的重要組成部分,被廣泛的應(yīng)用于微操作和微定位等領(lǐng)域。本文分別以壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的帶有位移放大機(jī)構(gòu)的和不帶有位移放大機(jī)構(gòu)的兩種一維納米定位平臺(tái)為研究對(duì)象,對(duì)其進(jìn)行了系統(tǒng)分析和誤差分析。
　　 第一章主要闡述了研究納米定位技術(shù)的意義,分析了納米定位平臺(tái)的研究現(xiàn)狀及其發(fā)展趨勢(shì),給出了本文的研究?jī)?nèi)容和技術(shù)路線。
　　 第二章簡(jiǎn)要介紹壓電材料的基本原理及選擇方法,給出了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)原理及其一些主要特性

2、,如遲滯特性、蠕變特性、溫度特性、非線性特性等。
　　 第三章的主要研究?jī)?nèi)容是分別用力法和能量法推導(dǎo)了帶有杠桿式放大機(jī)構(gòu)的一維納米定位平臺(tái)的系統(tǒng)剛度和固有頻率的計(jì)算公式,并對(duì)系統(tǒng)剛度的計(jì)算公式用有限元分析法加以驗(yàn)證,對(duì)一維納米定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)有一定的參考意義。
　　 第四章主要研究了帶有杠桿式放大機(jī)構(gòu)的一維納米定位平臺(tái)拉桿尺寸對(duì)納米定位平臺(tái)定位精度的影響,并用J下交試驗(yàn)設(shè)計(jì)的方法找到了拉桿的較優(yōu)尺寸;對(duì)不帶有放大機(jī)構(gòu)的一維