SPC系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、半導(dǎo)體制程是一項復(fù)雜的制作流程，從光學(xué)顯影，干式蝕刻，化學(xué)氣象沉積，物理氣象沉積，解離金屬電漿，化學(xué)機械研磨，離子注入等技術(shù)大概有三四百個工序，如何監(jiān)控流程分析數(shù)據(jù)成為一大難題，僅僅依靠傳統(tǒng)的手工記錄無法反映SPC技術(shù)的及時性及提醒性。傳統(tǒng)的質(zhì)量管理是以檢驗產(chǎn)品實物質(zhì)量為依據(jù)的，這樣雖然能控制產(chǎn)品的質(zhì)量，但檢查只是把所制成的與規(guī)格要求的作一個比較，或者只能停止不合格品的流動，但不能停止它的產(chǎn)生，尤其是復(fù)雜和大量的檢查時需要格外的成本和時

2、間，不僅浪費了原材料同時也降低了生產(chǎn)效率。
　　本文結(jié)合半導(dǎo)體制程控制的控制特點，針對半導(dǎo)體企業(yè)過程質(zhì)量控制的問題，開發(fā)了一套基于 SPC技術(shù)的過程控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)既能夠?qū)a(chǎn)品、產(chǎn)量、工藝、設(shè)備等各種信息存儲于數(shù)據(jù)庫中，又能對質(zhì)量特性進行異常分析并處理，由過去的“事后檢驗”轉(zhuǎn)變成現(xiàn)在的“提前預(yù)測”。克服了傳統(tǒng)的質(zhì)量管理系統(tǒng)事后糾錯的缺點。實現(xiàn)了從數(shù)據(jù)收集到計算分析的功能，消除和避免不合格產(chǎn)品，有效控制制程，從而達到提高企業(yè)生產(chǎn)效率